שולחן אופטי רזולוצייה גבוהה - 5 דרגות חופש: ϴX,ϴY,X,Y,Z
במערכות אלו מורכבים 2 ברגים מיקרומטריים עבור כל ציר.
בורג מיקרומטרי ברזלוצייה של 10µm אשר איתו מגיעים לטווח הרצוי של המהלך. לאחר ההגעה לטווח הרצוי ניתן להשתמש בבורג המיקרומטרי הנוסף היושב על אותו הציר, איתו מבצעים את ה-Fine Tuning ברזולוצייה של 0.5µm.
מערכת זו מכילה 5 דרגות חופש: צירים X,Y,Z, כאשר צירי X,Y בעלי יכולת לנוע גם בציר ה-ϴ במהלך של ±3°.
ניתנת אפשרות להוסיף לבמות אלו ראש גאומטרי/TILT. מתאימים מאוד לשימוש בתעשיית האופטיקה, הלייזר, הדפוס והאלקטרוניקה. |
